Description détaillée
Matériau cible de pulvérisation rotative en titaneest une cible cylindrique creuse spécialement conçue pour les processus de pulvérisation magnétron sous vide (PVD). Fabriqué à partir de titane de haute-pureté (99,9 %-99,999 %) grâce à un usinage de précision, un traitement thermique et un meulage de surface, il permet une érosion uniforme à 360 degrés lors d'une rotation à grande vitesse (200 à 500 tr/min).
Spécifications de la cible tubulaire en titane
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Taille normale |
Matériel |
Composition |
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Dia141×125×1550mm |
Ti Gr1 |
99.70% |
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Diamètre152×125×966mm |
Ti Gr2 |
99.50% |
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Diamètre152×125×1566mm |
Ti4N |
99.99% |
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Diamètre70×56×1560mm |
Zr702 |
Zr+Hf>99.2% |
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Diamètre70×56×2100mm |
Ta1 |
99.95% |
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Divers |
Nb1 |
99.95% |
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Divers |
2N Cr |
99.50% |
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Divers |
3N Cr |
99.90% |
Applications
Semi-conducteurs et microélectronique :Couches d'interconnexion métalliques, couches barrières et couches de pré-titane pour diélectriques à haute-k
Technologie d'affichage : Source/drain electrodes or optical modulation layers in TFT displays, achieving >80 % d'utilisation des matériaux
Verre optique et fonctionnel :Revêtements anti-antireflet (AR) TiO₂, verre à faible-émissivité (Low-E)
Aérospatiale et défense :Revêtements de protection durs et résistants à la corrosion-, barrières thermiques, encapsulation du capteur
Biomédical :Films biocompatibles pour surfaces d'implants, offrant une excellente bio-inertie et résistance à la corrosion
Avantages du produit
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Avantage |
Avantages clés |
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Utilisation élevée des matériaux |
Taux d'utilisation de 80 % à 90 % contre . 40 % à 60 % pour les cibles planaires |
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Uniformité supérieure du film |
≤±3% thickness deviation at >Puissance de 10 kW (±8 % pour les cibles planaires) |
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Dissipation thermique améliorée |
Augmentation de 50 % de la zone de contact du refroidissement par eau-, prise en charge d'une pulvérisation haute puissance de 10-15 kW |
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Résistance mécanique fiable |
Résistance à la flexion supérieure ou égale à 300 MPa avec une épaisseur de paroi supérieure ou égale à 5 mm résiste aux forces centrifuges |
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Haute propreté des surfaces |
Le broyage SR réduit les particules de surface (30 → 10), améliore la stabilité du dépôt |
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Compatibilité avec plusieurs-densités de puissance |
La distribution thermique uniforme maintient l'équilibre de la température de la surface cible |
Recommandations d'utilisation
Méthode de refroidissement :Manchons-refroidis à l'eau ou refroidissement par pulvérisation recommandés pour une dissipation thermique optimale
Paramètres d'alimentation : Direct use below 10kW; thermal simulation recommended for >Applications 15 kW
Traitement de surface :SR-cibles au sol préférées pour les films de haute-précision afin de réduire la contamination par les particules
Gestion du cycle de vie : Regular erosion monitoring; utilization rates support >200 heures entre les remplacements (en fonction de la densité de puissance)
FAQ:
R : Oui, nous offrons des échantillons gratuits avec expédition organisée par le client. Nous recommandons des tests d’échantillons ou des commandes d’essai avant des achats plus importants.
Q : Dans quelle mesure vos prix sont-ils compétitifs ?
R : Nos prix reflètent une valeur exceptionnelle si l’on considère la qualité supérieure et le service complet que nous fournissons.
Q : Quel est le délai d’exécution de votre devis ?
R : Généralement 24 heures après réception de la demande. Les demandes urgentes sont traitées en priorité dès notification.
Q : Comment puis-je demander des produits personnalisés ?
R : Veuillez partager vos dessins, images ou échantillons. Nous confirmerons les spécifications et lancerons rapidement la production.
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